Neben der Positionsmessung können auch andere Messungen mit dem Interferometer durchgeführt werden

Geradheits - Messung Kombinierte Geradheits - und Positions - Messung (3D) Geradheits - Messung via Kollimation Ebenheits - Messung Schwingungsmessung bis über 1000Hz Prinzipbedingt eignet sich das Interferometer optimal für die Positionsmessung. Die Geradheitsmessungen lassen sich mit anderen Messtechniken heutzutage einfacher und besser durchführen.